材質 | ステンレス |
---|---|
表面処理 | 生地 |
サイズ | M3~M16 |
規格 | - - - |
特長 | ガス抜き穴付押しねじ、エアー抜き穴付押しねじ、真空用穴付押しねじなどとも呼ばれる軸方向にガス排出用の貫通穴を持つ六角ボルトです。半導体製造装置、真空装置、真空容器などの真空領域(チャンバー内)での使用に最適です。六角頭のため上部スペースが無く六角レンチを使えない場所でも使用できます。ねじ底に溜まったガスを素早く排出し目標圧力までより早く到達します。 大気圧から真空に減圧する際には、密閉できているのに目標圧力になかなか下がらない、ポンプ停止後徐々に真空度が下がるという「バーチャルリーク」対策が必要となります。原因は締結時にねじ穴先端の間隙に溜まった気体。僅かずつねじ山の隙間を通って漏れ出て来ます。気体の気圧と体積の間には“ボイルの法則”温度・質量が一定の条件下において(気圧P)×(体積V)=(一定)という関係があります。空気を大気圧(約1013hPa)から低真空(100Pa程度)に減圧した場合に、体積は1000倍となります。ねじ穴奥のわずかな隙間に溜まった空気が真空引きに大きな影響を及ぼします。 |
---|